Редкий случай, когда пафосный заголовок отражает содержание интервью. Поэтому при всей нашей нелюбви к подобным «красивым» фразам мы, скрепя сердце, решили его оставить. Думаем, что после прочтения интервью с Анатолием Ковалёвым д.т.н., MBA, генеральным директором АО «ЗНТЦ», читатели разделят нашу точку зрения.
— Начнем со знакомства. Расскажите подробнее о компании: история возникновения, ключевые точки развития.
Зеленоградский нанотехнологический центр создан в 2010 году. Сегодня это динамично развивающаяся микроэлектронная компания с современным производственным комплексом.
На нашей площадке осуществляется разработка перспективных технологий микро и оптоэлектроники, выпускается конкурентоспособная отечественная электронная и фотонная компонентная база, оборудование для производства микроэлектронной продукции. Кроме того, Зеленоградский наноцентр активно создает и поддерживает новые высокотехнологичные стартап-компании. Основная задача Наноцентра в данном направлении – обеспечение перехода научно-исследовательской работы в область конкретных рыночных внедрений.
За пятнадцать лет работы Зеленоградский нанотехнологический центр сумел достичь существенных результатов в развитии отечественной микроэлектроники. Так в 2021 году была освоена технология 3D-cборки. В 2023 году –завершена разработка первого отечественного мультиплексора. В 2025 году – начаты продажи первого отечественного литографа с разрешением 350 нм. В этом году введен в эксплуатацию новый участок сборки микросхем в многовыводные полимерные корпуса типа PBGA, FC-ВGA и HFCBGA.
— ЗНТЦ предлагает огромный спектр услуг и широкую производственную линейку. В связи с этим два вопроса: каким образом при всеобщем дефиците кадров удалось собрать специалистов самой разной квалификации под одной крышей?
Проблема подготовки и набора кадров была и остается актуальной для современных микроэлектронных предприятий. Для привлечения специалистов мы принимаем активное участие в мероприятиях, направленных на целевую подготовку кадров для микроэлектроники, участвуем в профориентационных мероприятиях. Зеленоградский наноцентр сотрудничает с ведущими техническими ВУЗАми. Например, НИУ МИЭТ по нашей инициативе разработал программу «Разработка и производство элементов интегральной фотоники».
Кроме того, АО «ЗНТЦ» является индустриальным партнером Передовой инженерной школы МИЭТ «Средства проектирования и производства электронной компонентной базы».
В рамках этого проекта на базе производственной площадке Зеленоградского Наноцентра и других индустриальных партнеров осуществляется подготовка кадров по направлениям «Средства автоматизированного проектирования ЭКБ», «Технологии и специальное технологическое оборудование». В результате, компании, принимающие участие в этой программе, получают высококвалифицированных конструкторов технологического оборудования, инженеров-технологов, разработчиков САПР и других специалистов.
Таким образом, мы создаем уникальную экосистему, в которой мы можем растить собственные кадры с необходимой квалификацией и компетенциями.
Безусловно система контроля качества и эффективная техническая политика являются залогом выпуска продукции, полностью удовлетворяющей требованиям заказчиков.
Система менеджмента качества АО «ЗНТЦ», распространяющаяся на разработку и производство продукции, сертифицирована на соответствие ГОСТ Р ИСО 9001-2015, ГОСТ РВ 0015-002-2020. Испытательный центр соответствует ГОСТ ISO/IEK 17025-2019, ЭС РД 005-2020.
— ЗНТЦ занимается созданием стартапов. Расскажите подробнее об этом виде деятельности.
«Зеленоградский нанотехнологический центр» выступает инфраструктурной опорой для технологических стартапов: с 2011 года компания оказывает финансовую, техническую и кадровую поддержку разработчикам инновационных продуктов. Итогом этой системной работы стала поддержка более 40 стартапов и создание свыше 120 высокотехнологичных рабочих мест.
Сегодня в портфеле центра — компании, работающие на стыке дисциплин: от искусственного интеллекта, фотоники и IT до медицинских технологий, микроэлектроники и нанотехнологий. Ядро портфеля составляют проекты, ориентированные на микроэлектронику.
Логическим продолжением развития технологического предпринимательства стало создание в 2023 году университетской стартап-студии (ООО «Стартап-студия МИЭТ»). Проект, реализованный совместно с НИУ МИЭТ в рамках федеральной программы «Платформа университетского технологического предпринимательства», нацелен на формирование культуры техпреда в студенческой среде, запуск и финансирование перспективных бизнес-идей, а также вывод результатов НИОКР на быстрорастущие рынки.
— Вы создали первый российский литограф. Есть ли у компании дорожная карта его развития. Например, 130-нм техпроцесса?
Развитием электронного машиностроения Зеленоградский нанотехнологический центр занимается с 2021 года. В настоящее время осуществляются продажи литографа с разрешением 350 нм, а с 2027 года планируется производство установки совмещения и проекционного экспонирования с разрешением 130 нм. В процессе разработки установка электронно-лучевой литографии с разрешением 150 нм, установка контроля привносимой дефектности поверхности полупроводниковых пластин без топологии с обнаружительной способностью 45 нм. Начата разработка кластерной линии фотолитографии для обработки слоёв фоторезиста в субмикронной DUV литографии при изготовлении СБИС на пластинах Ø 200 мм.
— Для производства чипов требуются расходные материалы. Как обстоят дела с их производством в РФ? Насколько ЗНТЦ нуждается в импортных материалах?
Существующие ограничения и санкции стали основным стимулом для развития российских компетенций и решений в части производства расходных материалов. Российские производители микроэлектроники переходят на отечественных поставщиков материалов и газов, использующихся в микроэлектронном производстве.
Большинство расходных материалов, которые мы используем для производства – российские. Зарубежные материалы мы используем, если отечественные аналоги отсутствуют, например проявитель, часть химических реактивов. Что касается фоторезиста, то в настоящее время мы вынуждены использовать продукцию зарубежных производителей. Но в ближайшем будущем планируем провести на нашей площадке апробацию отечественных фоторезистов и в случае успеха будем применять их в своем производственном процессе.
— Давайте подробнее поговорим о сборочном производстве. Какова производительность новой линии корпусирования? Насколько конкурентоспособна с аналогичным производством в Китае и странах ЮВА? Как планируется привлекать заказчиков? Каковы перспективы ее дальнейшего развития?
В январе 2026 года мы ввели в эксплуатацию новый сборочно-испытательный комплекс площадью 1200 кв. метров. Модернизация производства позволила масштабировать услуги сборки и тестирования электронной компонентной базы, разрабатываемой российскими дизайн-центрами.
Производственные мощности СБИК позволяют корпусировать до 200 тысяч микросхем в месяц.
Ключевыми преимуществами/особенностями новой площадки являются возможность производства полного цикла специальной и потребительской электроники, доступ к современным технологиям корпусирования высокопроизводительных микросхем в многовыводные полимерные корпуса типов PBGA, FC-BGA и HFCBGA.
Сборочно-испытательный комплекс оснащен современным производственным и испытательным оборудованием, имеющиеся компетенции позволяют полностью отвечают требованиям отечественных производителей микроэлектроники и соответствуют мировому уровню. Учитывая, что взаимодействие с зарубежными производителями, в том числе китайскими осложняется действующими санкционными ограничениями, а государством реализуется политика, направленная на повышение уровня локализации производства российские компании заинтересованы собирать и тестировать чипы в России.
Контрактной сборкой микросхем АО «ЗНЦТ» занимается с 2011 года. В настоящее время сформирован пул постоянных заказчиков. Использование современных технологий сборки высокопроизводительных микросхем в многовыводные полимерные корпуса, позволяет нам развивать сотрудничество с новыми партнерами. В результате модернизации производства стала доступна сборка новых типов микросхем: flash память, ИС вычислительных модулей, СВЧ и силовой электроники.
— Планируется ли масштабирование производства, например до 500 тыс. корпусов в месяц и выше? Каков, по вашим оценкам, спрос на эту услугу на российском рынке? ЗНТЦ развивает стартапы. Опытные серии у этих компаний составляют от нескольких десятков до нескольких сотен штук. Готовы ли вы корпусировать эти кристаллы на своем производстве? Насколько столь малые серии будут мешать основному производству? Каков минимальный объем заказа вы принимаете в производство?
Микроэлектроника — одна из самых динамично развивающихся отраслей. Именно она задает темпы развития смежных отраслей промышленности: телекоммуникационной, промышленной автоматики, автомобильной, авиационной и других. В случае повышенного спроса мы готовы рассмотреть масштабирование до 500 тыс. корпусов в месяц и выше, инвестируя в новое оборудование и инфраструктуру.
Услуги по корпусированию и тестированию чипов востребованы на российском рынке. Основными потребителями являются дизайн-центры, предприятия-производители микроэлектроники, не обладающие собственным сборочным производством. Уникальность сборочно-испытательного комплекса АО «ЗНТЦ» заключается в том числе в его гибкости и возможности адаптации как для выполнения серийных заказов, так и для работы с мелкой серией. Минимальная партия составляет 20 штук. Мы можем обеспечить как комплексное производство, так и выполнить отдельные операции, отработать технологии. Поддерживаемые нами стартап-компании регулярно пользуются нашими технологическими услугами. При этом мы сотрудничаем и с крупными компаниями, таким как «Цифровые Решения», «ЭЛВИС», «МЦСТ», «НИИМА «ПРОГРЕСС», «Байкал Электроникс».
— Корпус микросхемы – изделие отнюдь не простое: выводные рамки, многослойные органические подложки-стриплайны, теплораспределительные крышки, адгезивы, керамические рамки и т.д. Удалось ли ЗНТЦ найти партнеров для производства корпусов?
В течение последних лет в РФ появились производственные возможности для сборки кристаллов интегральных микросхем в новые типы корпусов. Качество, тип корпуса и используемые материалы играют большую роль в обеспечении надежности ЭКБ. В свое время мы провели большую работу по поиску поставщиков металлокерамических корпусов для интегральных микросхем. АО «ЗНТЦ» работает с российскими компаниями, в том числе с «Заводом полупроводниковых приборов», «Заводом «Марс» и т.д.
— Вы уже тестировали новую линию на сборочном производстве. Каковы его результаты?
Тестирование, отладка технологии и оборудования являются неотъемлемой частью производственного процесса микросхем.
Перед запуском производства была произведена отработка используемых в производственном процессе технологий, а также доработка и апробация их под требования заказчиков.
В настоящее время мы можем оказывать технологические услуги по сборке сложнофункциональных многовыводных микросхем, силовой и СВЧ электроники в том числе на нитриде галлия на кремнии на серийной основе.
— Расскажите о технических возможностях сборочного производства. Например, каков минимальный шаг выводов ваших корпусов, какой размер кристалла, сколько выводов на кристалле?
На нашем производстве по технологии flip-chip собираются процессоры с количеством выводов до 26 000 штук. Размер кристалла может составлять от 5х5 до 25х25 мм. Что касается шага выводов, то он зависит от типа корпуса, например, для BGA корпусов, как правило, он начинается от 0,8 мм. При этом имеются решения и с меньшим шагом выводов.
— Есть ли у ЗНТЦ предложения по совершенствованию теплоотвода для мощных кристаллов силовых чипов, СВЧ- микросхем?
Имеющееся оборудование уже сейчас позволяет использовать определенные типы корпусов с теплоотводом для производства силовой и СВЧ электроники.
Совершенствование теплоотвода – это комплексная задача, включающая расчеты конструкции микросхемы с кристаллами силовых чипов, исследование и подбор материалов, расчет электрических характеристик изделия и как итог такой работы — проведение испытаний, в АО «ЗНТЦ» постоянно ведутся научно-исследовательские работы в этом направлении.
— Есть ли у вас планы по дальнейшему развитию сборочного производства? И, если заглянуть на три–четыре года вперед, планирует ли вы осваивать чиплетную технологию (модульный подход к проектированию микросхем)?
Да, у Зеленоградского нанотехнологического центра есть планы по дальнейшему развитию сборочного производства. Сейчас совместно с «НИИМА «Прогресс» ведутся работы по освоению чиплетной технологии. В ближайшем будущем будет разработана многокристальная сборка, состоящая из 5 кристаллов, соединённых на одном кремнёвом интерпозере. Такую сборку можно назвать чиплетом.
— Несколько слов о контроле качества. Какие методы контроля вы используете? Проходит ли контроль каждое изделие, или осуществляется только выборочный контроль? Каков процент выхода годных?
На каждом этапе производства, предусмотрен свой вид, методы и объем контроля, а также испытания изделий, в соответствии с требованиями технических условий и технической документации, включая контроль за соответствием комплектующих изделий и материалов, требованиям нормативной документации. Процент выхода годных зависит от выпускаемой продукции, например, на сборочном производстве в среднем он составляет не менее 90%.
— И «провокационный» вопрос. Допустим, устранились все препоны в заказе услуг корпусирования в Китае и странах ЮВА. Сможет ли ЗНТЦ не потерять своих заказчиков? Чем компания их удержит?
В настоящее время у нас сформирован пул постоянных заказчиков. Проводятся мероприятия, направленные на привлечение новых клиентов. Существующие санкционные ограничения и требования 719 Постановления, конечно, стимулируют российские дизайн-центры выпускать разрабатываемую продукцию в России. И это, безусловно, способствует повышению спроса на наши услуги. Но необходимо учитывать, что производство электронной компонентной базы – сложный технологический процесс, требующий наладки оборудования, адаптации технологий под линейку выпускаемой продукции. Перенос производства на другую фабрику требует значительных временных и финансовых затрат.
Индивидуальный подход к нашим заказчикам, гибкая ценовая политика, наличие уникального оборудования и высококвалифицированных позволяют нам быть уверенным, в том, что отмена санкционных ограничений не приведет к потере клиентов.
— Какие кадры потребуются отечественной микроэлектронике в ближайшие годы? Какие меры в связи с этим следует принимать для их формирования и привлечения в отрасль?
В ближайшее время для электронной промышленности наиболее востребованными будут инженерные кадры, в том числе конструкторы технологического оборудования, разработчики САПР, инженеры технологи.
Наиболее эффективной мерой для формирования необходимого кадрового резерва и привлечения молодых специалистов в микроэлектронику является сотрудничество промышленных предприятий и профильных ВУЗов, совместная разработка образовательных программ, адаптированных под современные условия производства. Как уже было отмечено выше, для решения этой проблемы Зеленоградский Наноцентр активно сотрудничает с техническими ВУЗами. Немаловажную роль играют условия труда. На сегодняшний день в «ЗНТЦ» созданы все условия для профессионального развития молодых специалистов. Зеленоградский Наноцентр – это одно из передовых предприятий, укомплектованное уникальным оборудованием и использующее современные технологии производства микроэлектроники.
Беседу подготовил Леонид Чанов: опубликовано в сборнике ЖИВАЯ ЭЛЕКТРОНИКА РОССИИ-2026